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產(chǎn)品特性—XYZ位移：80μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：45x45mm—承載能力：0.6Kg—緊湊型設(shè)計(jì)—高精度柔性導(dǎo)向

產(chǎn)品特性—XZ位移：80μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：Ø35mm—承載能力：0.6Kg—高度緊湊型設(shè)計(jì)—高精度柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)導(dǎo)向

產(chǎn)品特性—XY位移：8μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：100x100mm—承載能力：1Kg—超低外形設(shè)計(jì)并聯(lián)結(jié)構(gòu)具有高動(dòng)態(tài)性能

產(chǎn)品特性—Z位移：80μm/160μm/240μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：Ø25mm—承載能力：800g—平行運(yùn)動(dòng)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)—高精度柔性導(dǎo)向系統(tǒng)

產(chǎn)品特性—X位移：80μm（閉環(huán)）—中孔尺寸：Φ35mm—高度緊湊的設(shè)計(jì)帶來性能—柔性鉸鏈確保高可靠性—納米和亞納米范圍內(nèi)的高分辨率

產(chǎn)品特性—XYZ位移30μm—多種負(fù)載安裝孔位—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率—高度緊湊的設(shè)計(jì)帶來性能

產(chǎn)品特性—高速響應(yīng)，多軸定位—700g承載重量—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率—XZ軸雙向運(yùn)動(dòng)

產(chǎn)品特性—高速1ms響應(yīng)，多軸定位—超快的響應(yīng)時(shí)間—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率—高度緊湊的設(shè)計(jì)帶來很好的性能

產(chǎn)品特性—緊湊型超薄設(shè)計(jì)：移動(dòng)面為40x40mm—超高定位及線性誤差—SGS閉環(huán)控制—可提供X向位移臺(tái)、可升級(jí)XY、XZ和XYZ版本

產(chǎn)品特性—高速直接驅(qū)動(dòng)—大承載8Kg—閉環(huán)控制—可堆疊XY運(yùn)動(dòng)